Acquisition d'un dispositif de lithographie UV
Renouvellement et mise à niveau d'un alignement de masque pour lithographie UV.
Fiche technique
- Intitulé : Jouvence d'un dispositif de lithographie UV
- Thèmes : Magnéto-acoustique, transport à l'échelle de la particule individuelle, confinement acoustique au sein de nano-objet individuel, synthèse de nano-résonateurs en silicium, opto-mécanique quantique à base de cavités à l'échelle du nanomètre, transport et dopage par charge d'espace de matériaux bidimensionnels...
- Financement :
- MATISSE 60%
- INSP 32%
- Master UPMC 8% - Responsable scientifique du projet : Laurent Belliard
Professeur, Acoustique pour les Nano Sciences de l'INSP - Localisation : Salle blanche de l'INSP, Université Pierre et Marie Curie (UPMC)
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MATISSE en chiffres
- 4 disciplines : Chimie, Physique, Sciences de la Terre, Patrimoine
- 400 permanents
Contact
Direction
Florence Babonneau
Administration
Communication
Emmanuel Sautjeau