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Labex MATISSE
MATériaux, InterfaceS, Surfaces, Environnement

Acquisition d'un dispositif de lithographie UV

Renouvellement et mise à niveau d'un alignement de masque pour lithographie UV.

Fiche technique

  • Intitulé : Jouvence d'un dispositif de lithographie UV
  • Thèmes : Magnéto-acoustique, transport à l'échelle de la particule individuelle, confinement acoustique au sein de nano-objet individuel, synthèse de nano-résonateurs en silicium, opto-mécanique quantique à base de cavités à l'échelle du nanomètre, transport et dopage par charge d'espace de matériaux bidimensionnels...
  • Financement : 
    - MATISSE 60%
    - INSP 32%
    - Master UPMC 8%
  • Responsable scientifique du projet : Laurent Belliard
    Professeur, Acoustique pour les Nano Sciences de l'INSP
  • Localisation : Salle blanche de l'INSP, Université Pierre et Marie Curie (UPMC)

Description du projet

La salle blanche de l'Institut des Nano Sciences de Paris fait partie intégrante d'une structure collaborative plus vaste nommée Salle Blanche Paris Centre.

Cette entité s'articule autour de 5 infrastructures :

  • l'ENS Paris
  • l’IPGG
  • l'Observatoire
  • Paris 6
  • Paris 7

Ces structures de recherche ont pour vocation le soutient de la recherche endogène de chaque organisme mais également les projets exogènes des différents partenaires.

Chaque entité doit disposer d'un socle commun d'outils de base permettant d'assurer une part d'autonomie en ce qui concerne les étapes clefs de leur recherche, comme l'enrésinement, la lithographie ou l'élaboration de matériaux.

Aujourd'hui, la lithographie UV est assurée à l'INSP par deux approches :

  • une approche séquentielle permettant l'insolation à l'aide d'un laser focalisé et pilotable en position afin de créer des designs complexes
  • une approche parallèle basée sur l'alignement et la reproduction de masques.

Le projet d'équipement consiste à remplacer l'aligneur de masque de la salle blanche de l'INSP devenu obsolète aujourd'hui par un ensemble de nouvelle génération. Ce matériel est un élément incontournable dans la plupart des procédés de structuration. Ainsi, l'acquisition de ce nouvel outil assure le maintien des moyens de fabrication et l'amélioration de la résolution accessible (~0.5μm).

Les structures réalisées irriguent de nombreuses problématiques développées par l'INSP et la commnauté du Labex MATISSE. Le volet formation des étudiants de l'Université Pierre et Marie Curie est une composante importante de la démarche puisqu'il repose en grande partie sur la facilité d'utilisation et la robustesse de cet outil alliées aux autres fonctionnalités de la salle blanche.

24/11/17

Traductions :

    MATISSE en chiffres

    • 4 disciplines : Chimie, Physique, Sciences de la Terre, Patrimoine
    • 400 permanents

    Contact

    Direction

    Florence Babonneau

     

    Administration

    Laurence Bonnet-Lericque

    matisse @ upmc.fr

    Tél. 01 44 27 62 36

     

    Communication

    Emmanuel Sautjeau

    emmanuel.sautjeau @ upmc.fr